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keysight 10774A 短距離直線度光器件

更新時間:2018-04-26      點擊次數(shù):1123

keysight 10774A 短距離直線度光器件

 

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描述

"Keysight 10774A 短距離直線度光器件結合了直線度干涉儀和反射鏡,可在高達 3 米(10 英尺)的行程距離內(nèi)進行測量。 該光器件構成了一個高度的光學直角尺,可以測量機床行程和坐標測量機運動的直線度,分辨率為 0.04 微米(1 uin)。

 

Keysight 10774A(與 Keysight 5530 校準系統(tǒng)配合使用)是一個大型元器件,可對干涉儀系統(tǒng)進行量身定制以滿足每個應用的物理版圖和測量要求。

 

直線度測量精度

總體精度 = 光參考精度 + 測量精度。

與使用直角尺和指示器進行直線度測量的傳統(tǒng)方法類似,光參考精度相當于直角尺精度,而測量精度相當于指示器精度。

光參考精度

直角尺(反射鏡)反轉技術可消除光參考不確定度。

公制單位模式: 0.15 M2 µm

英制單位模式: 0.5 F2 µin

測量精度

溫度范圍顯示值: 0 µm 至 10 µm,10 至 1,500 µm

0 µm 至 400 µm,400 至 60,000 µm

15°C 至 25°C,±3.5%±1%±0.25 µm(10 µin)

0°C 至 40°C,±6%±1%±0.5 µm(20 µin)

直線度測量分辨率

Keysight 5519A、Keysight 5519B

短距離: 0.01 µm(0.4 µin)、0.04 µm(1.4 µin)

直線度測量范圍(正交至軸向移動)

±1.5 mm(0.060 英寸)

軸向分離(移動)

(干涉儀和反射鏡之間的距離,典型值,經(jīng)過恰當?shù)膶剩?5°C 至 25°C):

短距離光器件: 0.1 m 至 3 m(4 英寸至 120 英寸)

高分辨率平面反射鏡

與對準激光器相比,對空氣擾動的反應更加、靈敏度更低

單獨提供或作為 Keysight 55283A 直線度測量套件的一部分

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