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keysight 1077 長距離直線度光器件

更新時(shí)間:2018-04-26      點(diǎn)擊次數(shù):1127

keysight 1077 長距離直線度光器件

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描述

Keysight 1077 結(jié)合了直線度干涉儀和反射鏡,可在 1 至 30 米(3 英尺至 100 英尺)的行程距離內(nèi)進(jìn)行測(cè)量。 該光器件構(gòu)成了一個(gè)高度的光學(xué)直角尺,可以測(cè)量機(jī)床行程和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)運(yùn)動(dòng)的直線度,分辨率為 0.1 微米(10 微英寸)。

 

Keysight 1077(與 Keysight 5530 校準(zhǔn)系統(tǒng)配合使用)是一個(gè)大型元器件,可對(duì)干涉儀系統(tǒng)進(jìn)行量身定制以滿足每個(gè)應(yīng)用的物理版圖和測(cè)量要求。

 

直線度測(cè)量精度

總體精度 = 光參考精度 + 測(cè)量精度。

與使用直角尺和指示器進(jìn)行直線度測(cè)量的傳統(tǒng)方法類似,光參考精度相當(dāng)于直角尺精度,而測(cè)量精度相當(dāng)于指示器精度。

光參考精度

直角尺(反射鏡)反轉(zhuǎn)技術(shù)可消除光參考不確定度。

公制單位模式: ±0.015 M2 µm

英制單位模式: ±0.05 F2 µin

其中:

M = 移動(dòng)光器件的行程距離(單位:米)。

F = 移動(dòng)光器件的行程距離(單位:英尺)。

測(cè)量精度

溫度范圍顯示值:

0 µm 至 100 µm,100 至 1,500 µm

0 µm 至 4000 µm,4000 至 60,000 µm

15°C 至 25°C,±5%±2.5%±02.55 µm(10 µin)

0°C 至 40°C,±7.5%±2.5%±5 µm(20 µin)

直線度測(cè)量分辨率

Keysight 5519A、Keysight 5519B

0.1 µm(4 µin)、36 µm(14 µin)

直線度測(cè)量范圍(正交至軸向移動(dòng))

±1.5 mm(0.060 英寸)

軸向分離(移動(dòng))

(干涉儀和反射鏡之間的距離,典型值,經(jīng)過恰當(dāng)?shù)膶?duì)準(zhǔn),15°C 至 25°C): 1 m 至 30 m(3 英尺至 100 英尺)

對(duì)空氣擾動(dòng)的反應(yīng)具有高精度和低靈敏度

可與 Keysight 55283A 直線度測(cè)量套件配合使用,以擴(kuò)展距離范圍

高分辨率平面鏡

適用于各種是德系統(tǒng)(包括 Keysight 5530 校準(zhǔn)器系統(tǒng))

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